9月29日，深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司（以下簡稱“捷佳偉創”）發布公告稱，擬向不超過35名（含）符合中國證監會規定條件的特定投資者發行股票。

公告顯示，捷佳偉創本次向特定對象發行募集資金總額不超過250,315.09萬元（含本數），扣除發行費用后擬將全部用于超高效太陽能電池裝備產業化項目、泛半導體裝備產業化項目（超高效太陽能電池濕法設備及單層載板式非晶半導體薄膜CVD設備產業化項目）、二合一透明導電膜設備（PAR）產業化項目、先進半導體裝備（半導體清洗設備及爐管類設備）研發項目、以及補充流動資金項目。

其中，先進半導體裝備（半導體清洗設備及爐管類設備）研發項目計劃投資6.46億元，擬在深圳市坪山區實施Cassette-Less刻蝕設備和單晶圓清洗設備技術的改進與研發，立式爐管長壓化學氣相沉積設備、立式爐管低壓化學氣相沉積設備、立式爐管低壓原子氣相沉積設備以及立式爐管HK ALO/HFO2工藝設備技術的改進與研發。

通過該項目的建設，捷佳偉創將加大對國際先進工藝的研究、對半導體先進設備的測試、加快全覆蓋率的設備產出，實現技術與產業升級。

第一，改進半導體氣相沉積設備技術。公司將進一步加快28納米到0.35微米集成電路設備的驗證與產業化以及未來納米設備的核心技術研發，大大增強先進集成電路、先進封裝及第三代半導體工藝裝備競爭能力；同時也將提升先進精密模組及元器件的生產能力，自主研發立式氣相沉積設備。

第二，在濕法清洗設備領域，完成Cassette-less批次式清洗工藝設備、單晶圓腔體清洗設備、涂布顯影的單晶圓設備，長壓及低壓化學氣相沉積設備與低壓原子氣相沉積設備等世界領先技術的研發并投產，實現濕法清洗設備的規模化生產，構建層次豐富、產能高效的半導體濕法及氣相沉積設備供給線。

資料顯示，捷佳偉創是一家高速發展的新能源裝備研發制造企業，自設立以來，捷佳偉創已為全球200多家光伏電池生產企業，近1000條電池生產線提供設備和服務，其中各類工藝設備的市場占有率均超過50%，成為全球領先的晶體硅太陽能電池設備供應商。

2019年，為響應國家戰略規劃，捷佳偉創開始投身于國產集成電路工藝設備事業，并啟動了濕法工藝裝備研發。2020年，該公司再次成立獨立的半導體研發事業部，立足設備行業，切入半導體工藝設備，致力打造高端半導體設備，制造開發平臺，目前該公司已經完成Dryer平臺的開發、部分槽體的開發和部分模組的開發，供應鏈的體系逐步開始建立。

捷佳偉創表示，先進半導體裝備研發項目將利用現有研發體系與資源，開展半導體刻蝕清洗設備、半導體晶圓涂布顯影設備、氣相沉積設備等高端工藝設備研發創新, 從而擴展和建立半導體濕法和氣相沉積設備前后道工藝的產品線及工藝整合開發服務, 實現公司在半導體事業拓展的戰略規劃與產業布局。

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