半導體聯盟消息,2020年8月26日,據山東新聞網報道,山東有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產一期項目正在進行最后的“沖刺”收尾,130余臺套工藝設備陸續進場,部分生產線已進入試運行階段。
山東有研集成電路用大尺寸硅材料規?;a項目總工程師肖清華表示,該項目設計的產品是6英寸和8英寸硅片,年產大概450萬片,其規模是在北京原廠的基礎上,翻了一倍。
資料顯示,有研集成電路用大尺寸硅材料規?;a項目由有研科技集團、日本RST株式會社控股的有研半導體材料有限公司出資,山東有研半導體材料有限公司建設。
據報道,有研科技集團是國資委管理的96家央企之一和國內有色金屬行業規模最大的綜合性研究開發機構,在國內唯一掌握18英寸硅單晶技術、12英寸硅片技術,率先實現8英寸硅片商業化,12—18英寸硅單晶產品可滿足全球最先進的半導體設備應用要求。
該項目是山東2019年省級重點項目,總投資約80億元,分兩期建設。其中,一期新建8英寸硅片生產線,年產能達180萬片,二期規劃12英寸硅片生產線,年產能360萬片。
據山東有研半導體材料公司總經理張果虎此前介紹,該項目規模是北方最大的半導體材料基地。2019年3月份,項目舉行開工儀式,2019年12月18日,該項目正式舉行封頂儀式。如今,項目一期進入最后收尾階段,意味著該項目正在按照原計劃順利有序進行。