公司簡介： 由中國科學院所屬公司和海外技術專家于2010年4月28日組建的高新技術企業，兩次承擔國家科技重大專項。公司致力于研究和生產世界領先的極大規模集成電路行業專用薄膜設備，矢志成為納米級薄膜制造技術解決方案的領導者。公司座落于沈陽國家級高新技術產業區——渾南新區，是國內唯一能夠生產適用于大規模集成電路生產線的PECVD設備供應商，現已形成2-12英寸PECVD設備、12英寸ALD設備、OLED薄膜設備的三個完整系列產品，廣泛應用于集成電路、先進封裝TSV、光波導、LED、OLED顯示等高端技術領域。　　公司遵循國際化企業運營模式，結合了海外專家和優秀的國內人才。公司現有海外專家7人，其中國家千人計劃專家3人，員工人數達到230人，研發人員占81%, 申請專利300余項。　　公司矢志成為國際水平的薄膜制造企業，愿與業界伙伴建立真誠、友好、共贏的產業合作聯盟，為中國及世界半導體產業的發展做出貢獻。

一般項目：技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣，電子專用設備制造，電子專用設備銷售，半導體器件專用設備制造，半導體器件專用設備銷售，機械零件、零部件加工，機械零件、零部件銷售，銷售代理，非居住房地產租賃（除依法須經批準的項目外，憑營業執照依法自主開展經營活動）