在半導體設備中，如果說，光刻機是馬里亞納海溝，深入最底者寥寥，那么離子注入機則是珠峰，能征服者甚少。

新中國成立后，珠峰的高度，英國人測量過，法國人測量過，甚至印度人都測量過，唯獨中國人沒有測量過，新中國的英雄們為證明中國實力，對珠峰進行了一次艱難的測量。這是去年上映的電影《攀登者》，對歷史的還原。

離子注入機這個行業面臨同樣的問題。這個在晶圓加工中占比5%左右的關鍵設備，卻長期被國外所統治，美國的應用材料（Applied Materials）和亞舍利（Axcelis）合計占據全球85%-90%的市場，長期以來，國內企業的市場份額一度近乎為0。

為了攀登離子注入機這座半導體設備的珠峰，2017年，發改委頒布的《戰略性新興產業重點產品和服務指導目錄》中將集成電路離子注入機納入目錄范圍；2018年，工信部發布的《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄》，將中束流、大束流以及高能離子注入機列入名單。這些政策的背后，是國家力求發展國產化的離子注入機的決心。

“攀登者”的成績

國內能夠擔當離子注入機領域”攀登者“角色的，當屬萬業企業旗下的凱世通。凱世通2009年成立，2018年被萬業企業以3.98億元收購。

凱世通早期主要從事光伏行業的離子注入設備研發。近兩年，公司開始切入半導體領域，全力推進“高能離子注入機關鍵技術研究及樣機驗證”的研發工作。

2019年，凱世通的IC離子注入機，在國內12英寸晶圓廠和主流存儲器芯片廠進行產線驗證，產品在束流強度指標上表現優異。

近期凱世通又傳來好消息。其生產的集成電路離子注入機獲得客戶批量采購，這表明國內客戶對凱世通低能大束流離子注入機、高能離子注入機進入全面商用化的認可，同時也是半導體設備國產替代浪潮中重要一步。

此次的采購方為芯來科技（紹興），采購了3臺12英寸集成電路設備，分別為低能大束流重金屬離子注入機（Sb implanter）、低能大束流超低溫離子注入機（Cold implanter）以及高能離子注入機（HE implanter），訂單金額超過1億元人民幣。

對于凱世通來說，這也是今年9月首臺低能大束流設備送入國內主要芯片制造工廠后的又一大商業化進展。

在這一系列商業成就的背后，是凱世通（萬業企業）對研發的大力。據萬業企業三季度報告顯示，公司研發離子注入機費用投入同比增長46.02%，未來將持續加大投資規模。

今年9月，凱世通成功進入上海市2020年度集成電路科技支撐專項立項項目名單。這是繼去年“高能離子注入機關鍵技術研究與樣機驗證”項目被正式列入該計劃之后，再度獲得政府及業界專家肯定。

起底萬業企業

凱世通的創始人陳炯博士，畢業于美國哥倫比亞大學應用物理博士學位，曾是全球知名離子注入機企業AIBT的創始人之一，帶領美國團隊成功開發了兩代大束流離子注入機，打入先進28nm關鍵制程集成電路制造廠商。

陳炯博士

2009年，當他在美國硅谷與中國“02專項調研組深入交流后，51歲的陳炯博士，毅然決定回國發展。與他一同并肩作戰的還有另外四名同事，他們全部是世界一流的離子注入設備專家。幾人回國后，從頭開始，打造了一個屬于中國的高端裝備品牌——凱世通。

作為凱世通的母公司，萬業企業依靠房地產起家，2018年收購凱世通切入半導體產業。同時，萬業企業還通過入股上海半導體裝備材料基金，投資飛凱材料、精測電子、長川科技等，以外延并購+產業整合的方式布局半導體設備領域。

雖然如今國內泛起“造芯”熱，很多企業跨界做半導體，但萬業企業卻與大多數跨界造芯企業有著很大不同。

萬業企業的最大股東是上海浦東科技投資公司，我國頂級的科技創投勢力之一。主要聚焦集成電路、醫療健康、航空航天和TMT等高科技產業領域，曾對展訊通信和銳迪科微電子發出收購要約，成功要約收購瀾起科技，收購韓國芯片設計公司Alphean Inc等。

萬業企業的第三大股東是大基金。2019年一季度末，國家集成電路產業投資基金持有萬業企業7%的股權，成為公司的大股東。

此次凱世通的離子注入機發等多款產品商用化取得重要進展，證明萬業企業的產品競爭力及核心技術，已滿足主流芯片制造工藝的生產需求。

綜合來看，萬業企業有凱世通創始人團隊的技術背書，以及大股東浦東科投與大基金的加持，在未來的轉型與產業整合之路會走得更為順暢。

未來可期

展望未來，國產替代潮來襲，芯片制造工廠持續擴產，以及主流制程工藝的提升，都需要采購更多數量的半導體設備，這對于萬業企業來說是一個機會。

旗下凱世通以其技術與產品的獨特性，在大基金的加持下，踏著國產替代的東風，一步步的躋身國內半導體制造企業的供應鏈，并有機會走向國際市場，與國際巨頭同場競技。

對于萬業企業來說，凱世通是其布局半導體產業的一個切口，隨著凱世通的成功，以及萬業企業自身布局越來越多元化，其有望從一個房產公司轉型成為高科技產業，以在未來獲得更具成長性的市場空間。

封面圖片來源：拍信網
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