半導體聯盟新聞,近日,江蘇南大光電材料股份有限公司(以下簡稱“南大光電”)在股票交易異常波動的公告中披露了其光刻膠項目最新進展。
公告顯示,南大光電承接的國家“02專項”之“ArF光刻膠產品的開發和產業化項目”的基礎建設按計劃進行;2019年底完成一條生產線的安裝,正在調試階段。2020年4月,公司采購的用于檢測ArF(193nm)光刻膠產品性能的光刻機運入寧波南大光電工廠,5月開始進行安裝調試,預計安裝調試需要4-5個月的時間。公司制備ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料來源于自主研發,研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。
目前“ArF光刻膠開發和產業化項目”正處于光刻膠樣品驗證階段,驗證過程預計需要12-18個月,甚至更長的時間。南大光電還指出,ArF(193nm)光刻膠產品開發技術突破難度大、工藝要求高,且實現穩定量產周期較長,后續是否能取得下游客戶的訂單,能否大規模進入市場仍存在較多的不確定性。
據了解,南大光電ArF光刻膠產品的開發和產業化項目總投資額為6.56億元,其中,國撥資金1.93億元,地方配套資金1.97億元,項目實施主體為南大光電全資子公司寧波南大光電。
2019年12月14日,南大光電再次發布公告稱,通過增資擴股的方式寧波南大光電進行增資2.6億元,增資事項完成后,寧波南大光電的注冊資本由4000萬元增加到3億元。對于寧波南大光電增資擴股并引入外部投資者,南大光電稱,有利于加快公司ArF光刻膠產品的開發與產業化項目的建設進度,推動光刻膠板塊的戰略布局。
根據最初規劃,ArF光刻膠產品的開發和產業化項目擬通過3年的建設、投產及實現銷售,達到年產25噸193nm(ArF干式和浸沒式)光刻膠產品的生產規模,產品滿足集成電路行業需求標準。同時建成先進光刻膠分析測試中心和高分辨率光刻膠研發中心。