作為產業基石,材料在半導體生產制造中扮演著重要角色。前段時間,日本對韓國收緊半導體材料的出口限制讓半導體材料一時成為業界關注焦點,亦為中國半導體材料企業帶來商機。

據外媒報道,在日本政府限制向韓國出口氟化氫、光刻膠、含氟聚酰亞胺等半導體材料一個半月后,韓國三星電子、SK海力士等半導體大廠開始重新考慮供應商體系搭建并尋求使用替代品,并有傳聞稱SK海力士設在中國無錫的半導體工廠已完全使用中國大陸生產的氟化氫。

據了解,氟化氫溶于水形成氫氟酸,電子級氫氟酸是由無水氫氟酸經進一步處理得到的高端氫氟酸產品,對金屬、玻璃、混凝土等具有強烈腐蝕性,主要運用在集成電路、太陽能、液晶顯示等領域,在集成電路領域用于芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業生產所需的關鍵基礎化工原材料之一。

縱觀全球市場,日本是最重要的電子級氫氟酸生產國,主要供應商包括Stella Chemifa、昭和電工、關東電化、大陽日酸和中央硝子等,其中Stella Chemifa是全球最大的電子級氫氟酸供應商;歐美企業有SOVAY、HONEYWEL;中國臺灣地區企業有臺塑大金、僑力化工等。

中國大陸電子氫氟酸產業發展起步較晚,此前幾乎全部依賴進口。隨著近年本土半導體產業不斷發展,電子級氫氟酸的年需求量不斷提升,近年來已有多氟多等不少本土企業加碼布局,并相繼有項目上馬在建或投產,逐漸打破電子級氫氟酸完全依賴進口的局面。

不過,目前中國大陸電子級氫氟酸產業整體尚處于中低級階段,能達到半導體所用UP-SS級別(即G4級)的企業屈指可數,仍存在較大的進口替代空間。這次日韓管制事件將為大陸電子級氫氟酸企業造就有利市場契機,助推產業發展。

那么,中國大陸有哪些企業在布局電子級氫氟酸?下面來盤點一下主要幾家本土企業——

1.多氟多化工股份有限公司

多氟多化工股份有限公司成立于1999年12月,產品布局高性能無機氟化物、電子化學品、鋰離子電池及材料、新能源汽車生產研發四大板塊。2011年,多氟多投資建設年產1萬噸超凈高純電子級氫氟酸項目,2013年8月該項目試車成功。

目前,多氟多的電子級氫氟酸產品品質已達到UP—SSS級。官方消息稱,2018年多氟多電子級氫氟酸與國內多家8英寸寸和12英寸半導體客戶建立合作關系,包括長江存儲、中芯國際等,并成功進入美國、韓國等半導體跨國公司供應鏈,穩定實現進口替代。

多氟多2019年半年報顯示,目前其電子級氫氟酸產能為5000噸,基本已實現滿產,預計2019年底將新建成5000噸產能,并計劃2020年投產,屆時達到萬噸生產規模。今年7月,多氟多旗下控股子公司盈氟金和位于石嘴山的年產20000噸電子級氫氟酸項目開工。

2.福建省邵武市永飛化工有限公司

福建省邵武市永飛化工有限公司于2001年由國有企業福建省邵武市氟化廠改制而成,現為福建永晶科技股份有限公司的全資子公司,是國內建廠最早的氟化工企業之一,主要生產無水氟化氫、工業氫氟酸、試劑級氫氟酸、電子級氫氟酸。

在電子級氫氟酸方面,永飛化工是國內少數的全部指標達UP-SS級的廠家,正逐步替代進口產品、填補國內空白。2013年5月,永飛化工年產6000噸電子級氫氟酸(UP-SS級)生產線順利投產,電子級氫氟酸總產能達到12000噸。有消息稱,目前永飛化工的電子級氫氟酸生產能力約50000噸/年。

3.索爾維藍天(衢州)化學品有限公司

索爾維藍天(衢州)化學品有限公司(原浙江藍蘇氟化有限公司)成立于2006年,是由索爾維集團與中化藍天集團組建的中外合資企業,?專業從事氟化學品的生產和銷售,其電子級氫氟酸引進德國索爾維氟有限公司技術,2011年1月索爾維藍天年產5000噸電子級氫氟酸新裝置成功投入生產。

2018年12月,政府環評報告顯示,索爾維藍天擬投資2515.97萬元,在位于衢州市綠色產業聚集區高新片區華陽路39號廠區內現有電子級氫氟酸車間,對已建年產5000噸電子級氫氟酸裝置進行技改擴建,對現有生產線技改更新冷凝器設備,使產能提升至15000噸/年,并新增一套年產15000噸/年電子級氫氟酸生產線,使現有電子級氫氟酸總產能達到30000噸/年。

4.濱化集團股份有限公司

濱化集團股份有限公司始建于1968年,是一家綜合型化工企業集團,產品包括化工產品、環保化學品、油田化學品級工業助劑系列產品等。濱化股份2019年半年報顯示,報告期內公司電子級氫氟酸裝置順利開車,生產運行保持總體穩定。根據其官方消息,其電子級氫氟酸的設計產能是6000噸/年,開工負荷根據市場情況調整。

7月中旬,有消息稱,濱化股份的電子級氫氟酸已成功打入韓國市場。濱化股份在互動平臺上表示,公司電子級氫氟酸已銷售給國內客戶使用,正在辦理電子級氫氟酸向韓國發貨出口手續。不過目前其電子級氫氟酸產量較小, 預計不會對2019年業績造成重大影響。

5.浙江巨化股份有限公司

巨化股份是國內一家氟化工企業,已形成包括基礎配套原料、新型氟 致冷劑、有機氟單體、含氟聚合物、精細化學品等在內的完整的氟化工產業鏈,近年來其積極布局電子化學材料產業,其曾經的全資子公司浙江凱圣氟化學有限公司是國內主要電子級氫氟酸生產企業之一。

2018年3月,巨化股份宣布將旗下兩大子公司浙江博瑞電子科技有限公司100%股權和浙江凱圣氟化學有限公司100%股權轉讓中巨芯科技有限公司,后者為巨化股份與大基金等單位共同合資設立,其中巨化股份持股比例39%。

近期,巨化股份在互動平臺上表示,中巨芯科技旗下的凱圣公司PPT級氫氟酸目前訂單飽滿,生產滿負荷。為了滿足市場需求,擴建項目正抓緊收尾,預計第四季度投產,投產后產能將增加一倍,并表示三星為凱圣公司重要客戶。

6.廣州天賜高新材料股份有限公司

廣州天賜高新材料股份有限公司成立于2000年,致力于精細化工新材料的研發、生產和銷售,目前擁有鋰離子電池材料、日化材料和特種化學品兩大業務板塊。天賜材料旗下控股子公司安徽天孚氟材料有限公司主要生產和銷售氟化氫、氟化氫銨、氟化銨等氟化工產品,建有1萬噸/年無水氟化氫產線。

2018年1月,天賜材料董事會同意公司控股子公司安徽天孚使用自籌資金投資建設年產5萬噸氟化氫、年產2.5萬噸電子級氫氟酸改擴建項目,項目總投資1.22億元,今年1月宣布將該項目總投資變更為1.5億元。

今年7月,天賜材料在互動平臺上表示,安徽天孚現有的無水氟化氫主要為公司六氟磷酸鋰的主要原料,為工業級;而安徽天孚年產5萬噸氟化氫、年產2.5萬噸電子級氫氟酸改擴建項目目前處于前期設計階段。

7.浙江三美化工股份有限公司

浙江三美化工股份有限公司成立于2001年,主要從事氟碳化學品和無機氟產品等氟化工產品的研發、生產和銷售,其中無機氟產品主要包括無水氟化氫、氫氟酸等,主要用于氟化工行業的基礎原材料或刻蝕玻璃、金屬清洗及表面處理等。

2018年10月,三美股份招股書顯示,擬募集資金投資新建江蘇三美1萬噸高純電子級氫氟酸項目等多個項目,正式進入高純電子級氫氟酸領域。今年7月,三美股份在互動平臺上透露,江蘇三美1萬噸高純電子級氫氟酸項目尚未開工建設。

三美股份2019年半年報顯示,公司與日本森田通過參股公司浙江森田新材料有限公司合作開展蝕刻級氫氟酸、氟化銨研發和產能建設,產品可用于半導體領域,有望打破國際壟斷,森田新材料在建的2萬噸/年蝕刻級氫氟酸項目已進入設備安裝階段,預計本年底完成項目建設,進入試生產準備階段。

8.湖北興力電子材料有限公司

湖北興力電子材料有限公司成立于2018年11月,是由是湖北興發化工集團股份有限公司和Forerunner Vision Holding Limited出資設立的合資企業,主要從事電子級氫氟酸、氟化銨、無水氟化氫、緩沖氫氟酸蝕刻液的生產、研發、銷售。

興發集團是中國大陸主要電子化學品生產企業之一,其將通過與Forerunner合資成立興力電子,引進Forerunner關聯企業——中國臺灣企業僑力化工股份有限公司的電子級氫氟酸等技術,建設3萬噸/年電子級氫氟酸項目。

該項目總投資3.65億元,建成后總生產規模將為電子級氫氟酸3萬噸/年、電子級氟化銨1.2萬噸/年、BHF1.2萬噸/年。項目分兩期建設,一期投資2億元,將具備年產1.5萬噸電子級氫氟酸、6千噸電子級氟化銨、6千噸BHF、6千噸工業級氫氟酸生產能力。2019年5月,該項目正式開工。

9.鷹鵬化工有限公司

鷹鵬化工有限公司是中國氟化工主要企業之一,是鷹鵬集團的核心企業,主要產品有無水氟化氫、工業氫氟酸、二氟一氯甲烷、ODS替代品等。官網顯示,鷹鵬集團以氟化工產業為基石,已形成了具有規模化、產品種類齊全的產業鏈,成功開發了電子級氫氟酸、電子級硫酸等產品。

2009年,鷹鵬化工與中國鷹鵬集團控股有限公司共同出資組建宣城亨泰電子化學材料有限公司,該公司投資新建12000噸電子級氫氟酸項目。2013年項目一期建設完畢并于2014年驗收,建設一條年產6000噸電子級氫氟酸生產線,并配套的公用和輔助工程可滿足12000噸電子級氫氟酸生產能力要求。

2018年,宣城亨泰電子擬啟動年產12000噸電子級氫氟酸(二期6000噸)項目建設。環評公示顯示,宣城亨泰電子將在一期廠址預留區域建設二期年產6000噸電子級氫氟酸生產線,項目建設完成后,計劃年產6000噸ppb級氫氟酸,屆時全廠可達12000噸電子級氫氟酸生產規模。

10.蘇州晶瑞化學股份有限公司

蘇州晶瑞化學股份有限公司成立于2001年,是一家生產銷售微電子業用超純化學材料和其他精細化工產品的企業,主導產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料和鋰電池粘結劑四大類微電子化學品,超凈高純試劑主要包括超純氫氟酸、硝酸、雙氧水、鹽酸、硫酸等。

氫氟酸方面,晶瑞股份公告顯示其擁有自主開發的超大規模集成電路用超純氫氟酸技術,承擔了國家火炬計劃“微電子用超凈超純氫氟酸”。官方消息顯示,其超凈高純試劑中氟化銨、硝酸、鹽酸、氫氟酸達到G3、G4等級,可滿足光伏太陽能、LED和面板行業的客戶需求。

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