據(jù)盛美半導體官方消息，近日，盛美半導體全球首臺“UltraECPmap”鍍銅設備進駐上海華力微電子工廠（華虹六廠），將助力華力微電子12英寸先進生產(chǎn)線邁入新征程。

圖片來源：盛美半導體

華力微電子12英寸先進生產(chǎn)線項目肩負國家“909”工程二次升級改造的重任，項目工藝技術(shù)從28納米起步，最終將具備14納米三維工藝的高性能芯片生產(chǎn)能力，該項目總投資387億元，將建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋28~14納米技術(shù)節(jié)點，主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點服務國內(nèi)設計企業(yè)先進芯片的制造，并滿足部分事關(guān)國家信息安全的重點芯片制造需求，項目計劃于2022年底建成達產(chǎn)。華虹六廠已于2018年5月實現(xiàn)光刻機搬入。

據(jù)悉，UltraECPmap裝備了盛美獨家擁有知識產(chǎn)權(quán)的多陽極局部電鍍技術(shù)，盛美半導體董事長王暉博士表示，UltraECPmap設備的核心電鍍腔體及控制硬軟件全部在上海浦東研發(fā)完成，未來也將是在華力六廠上海浦東完成驗證。ECP map設備首臺投放中國市場，也代表盛美對快速發(fā)展中國半導體市場及客戶的承諾與投入。

資料顯示，盛美半導體設備（上海）有限公司成立于2005年05月17日。據(jù)悉，2009年盛美的清洗設備在海力士生產(chǎn)線得到試用。2015年，盛美的萬億聲波硅通孔清洗設備進入超大規(guī)模集成電路晶圓生產(chǎn)線量產(chǎn)；2016年，盛美12英寸45納米半導體單片清洗設備啟運韓國知名存儲器廠商海力士，這也是國內(nèi)首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高端12英寸半導體設備，打破了國產(chǎn)設備在海外銷售的零記錄。