人間三月有幸事,蓋澤迎來2025年首次研發成果突破——GS-EA12C邊緣夾持式晶圓校準器成功問世,并在蘇州舉行了發布儀式。公司高層領導、研發團隊成員以及特邀嘉賓出席了此次活動。

在揭幕儀式上,蓋澤項目研發主任發表講話:“GS-EA12C夾持式晶圓校準器是蓋澤在深入洞察市場需求、充分吸納客戶反饋的基礎上,憑借卓越研發實力推出的創新成果。它不僅進一步拓展了蓋澤EA系列晶圓校準器的適用范圍,更精準契合了多元設備廠商的需求。未來,我們將繼續加大研發投入,推動技術創新,以滿足客戶日益增長的需求。”此外,蓋澤還在活動上公布了其他幾個項目的研發進程,充分展示了公司在半導體精密部件制造領域的深厚實力。

蓋澤GS-EA12C晶圓校準器(Wafer Aligner)是一種用于晶圓加工的預對準裝置,通過識別晶圓上的缺口(notch),將晶圓調整至預設位置,確保其位置和方向準確,從而為后續工藝提供便利。

最新研制的GS-EA12C夾持式晶圓校準器配備了先進的2軸5相步進電機控制器和脈沖發生器,并搭載蓋澤自主研發的高精度校準算法。這使得設備的校準精度達到晶圓缺口精度±0.3°,校準速度僅需3秒(不包含夾持過程),性能足以與國際一線產品媲美。

此外,該設備還配備了高性能光學傳感器,能夠精準偵測透明、半透明及不透明晶圓的輪廓,完美適配直徑300mm的晶圓。與真空吸附式相比,其晶圓接觸面積更小,降低了晶圓在工藝過程中被污染的風險,同時設備運行更加安靜。

此次GS-EA12C夾持式晶圓校準器的研發,不僅豐富了蓋澤的產品種類,還為晶圓加工領域帶來了新的國產化替代方案,也為客戶提供了更多選擇。它體現了蓋澤在半導體技術應用領域的深厚積累與創新能力,展現了蓋澤在未來半導體領域的廣闊發展前景。我們期待GS-EA12C夾持式晶圓校準器能夠在實際應用中發揮其卓越性能,助力客戶實現更高效、更精確的晶圓加工,共同推動半導體產業的持續繁榮與發展。