東方晶源的“軟實力”:以技術創新破局半導體制造“良率革命” 在提升芯片良率的關鍵拼圖里,除了備受矚目的硬件設備發揮著重要作用外,EDA計算光刻軟件也扮演著不可或缺的角色。 芯片良率 EDA軟件 2025-04-08