近日,蘇州晶瑞化學股份有限公司(以下簡稱“晶瑞股份”)舉行年產9萬噸超大規模集成電路用半導體高純硫酸一期項目落成典禮,一期3萬噸超大規模集成電路用半導體高純硫酸項目即將正式通線投產,向半導體上游廠商全面供貨。
根據此前的公告顯示,晶瑞股份9萬噸超大規模集成電路用半導體級高純硫酸技改項目由江蘇陽恒化工有限公司主導實施,一期計劃總投資1.87億元。
資料顯示,晶瑞股份是一家微電子材料企業,主導產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎化工材料等,晶瑞股份通過自主研發掌握了超純過氧化氫、超純硝酸、超純鹽酸、超純氨水、光刻膠、顯影液、剝離液、蝕刻液等生產工藝及其關鍵核心技術,其中超純濕化學品已經達到國際領先水平。
目前,晶瑞股份生產的半導體級雙氧水、氨水產品已達到國際先進水平,為了增加半導體級高純硫酸產品品種,晶瑞股份通過收購江蘇陽恒化工有限公司的股份實行控股,與日本三菱化學合作,生產出高品質的半導體級高純硫酸,替代進口硫酸,為國內外客戶提供高品質半導體級高純硫酸。
據悉,該項目采用日本三菱化學株式會社的半導體級高純硫酸生產技術和裝備,利用三菱化學先進的技術和裝備、陽恒化工的優質原料和配套公用工程進行生產,該產品已在三菱化學公司安全生產多年,工藝成熟穩定。
晶瑞股份執行董事李勍表示,超大規模集成電路用半導體高純硫酸項目對晶瑞股份而言,具有極其重要的戰略意義,這相當于再造一個晶瑞,項目的落成,意味著國產半導體級高純硫酸產品躋身全球高純化學品G5等級的最高水平,可以滿足當前國內芯片制造最先進工藝制程的要求,打破了巴斯夫等國際巨頭壟斷。