本土晶圓代工企業崛起之際，設備進口議題備受關注。光刻機龍頭ASML近日表示，從荷蘭向中國出口DUV光刻機無需許可證。

“根據當前法規，ASML無需獲得美國出口許可證便可以繼續從荷蘭向中國客戶出貨DUV光刻系統；對于直接從美國發貨系統或零件到受法規影響的客戶，ASML需獲得許可證。”光刻機龍頭ASML總裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度財報說明會上對中芯國際等中國客戶的出貨情況做了解釋。

ASML近日還公布了DUV光刻業務的最新進展：公司在本季度對第一臺TWINSCAN NXT:2050i進行了質量認證，并于第四季度初發貨。NXT:2050i基于NXT平臺的新版本，涉及掩模版工作臺，晶圓工作臺，投影物鏡和曝光激光器的技術改進，提供了比其前身更好的套刻精度控制，以及更高的生產率。而且，NXT:2050i 將立即進入批量生產。

關于最為先進的EUV光刻機出口中國的政策，ASML并未提及。

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