半導體聯盟消息，國外媒體9月28日報道，而消息人士透露，臺積電正在加快研發極紫外光刻工藝，他們預計到明年年底，極紫外光刻機的累計采購量將達到約55臺。

在8月份的全球技術論壇期間，臺積電曾透露全球目前在運行的極紫外光刻機中，他們約有一半，產能則是預計占全球的60%。

臺積電是從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機的，7nm之后的工藝，就將全部采用極紫外光刻機，隨著5nm工藝的大規模投產，6nm工藝、第二代5nm工藝和3nm工藝開始籌備量產，他們對極紫外光刻機的需求也越來越大。

阿斯麥是目前全球唯一能制造極紫外光刻機的廠商，臺積電所需要的極紫外光刻機，也就全部來自于阿斯麥。

阿斯麥極紫外光刻機

目前還不清楚臺積電已經向阿斯麥采購了多少臺極紫外光刻機，但從阿斯麥的年報來看，他們從2012年就已開始交付極紫外光刻機，到今年二季度結束時，他們已累計向用戶交付76臺極紫外光刻機，按50%的比例計算，臺積電目前擁有的極紫外光刻機，就是在38臺左右。