不久前，中科院長春光機所旗下長春光華微電子設備工程中心有限公司（光華微電子）宣布研制成功國內首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺。

這回研發成功的晶圓探針臺產品，是半導體行業重要的檢測裝備之一，可將參數特性不符合要求的芯片記錄下來，在進入后序工序前予以剔除，從而大幅度降低器件的制造成本。

探針臺技術門檻較高，目前市場處于雙強壟斷態勢，東京電子和東京精密兩家日本公司占據了絕大部分市場份額。我國在探針臺研制方面已有多年技術積累，產品以8英寸為主，光華微電子于2015年正式立項開展12英寸全自動探針臺產品研發，先后突破了6項關鍵技術。今年，光華微電子推出的第一代產品機將在上海展出，并全面推向市場。