今年，至純科技半導體濕法清洗設備交付能力開始增強。

至純科技官方微信公眾號發布的消息顯示，6月19日，隨著交付給華虹集團ICRD有著特殊清洗要求的300MM單片式濕法設備搬入，2020年上半年，至純旗下至微科技的單片清洗和槽式濕法設備在二季度出機超過了十臺。而去年全年完成近20臺設備裝機，交付速度明顯加快。

至純科技從2017年投入半導體濕法清洗設備槽式裝備和單片裝備的研發，至2019年末，已經完成了多個工藝的8英寸及12英寸全自動槽式裝備，8英寸及12英寸4腔單片裝備，12英寸12腔先進工藝單片裝備的研發及制造。客戶已擴展到國內外半導體行業如中芯國際、德州儀器、臺灣力晶等知名企業，訂單逐年增加。

半導體聯盟消息，2020年6月23日至純科技公告定增14.9億元的申請已得到證監會受理，一旦多家國資半導體產業投資基金戰投9.7億元成功，將助力公司在國內半導體產業鏈中的國產化替代加快，包括高純工藝系統在內的公司整個半導體領域業務或將高速增長。

半導體清洗設備交付加快

將背面的金屬污染物清除，把顆粒洗凈，讓晶圓以最佳狀態進曝光機，避免曝光機因晶圓背面缺陷問題(金屬和顆粒)，把停機的時間降到最低。清洗設備在半導體生產過程中起到關鍵作用，而制程越先進對小尺寸污染物的清洗要求越高。

至純科技半導體業務主要就是半導體濕法清洗設備業務，包括槽式設備（槽數量按需配置）及單片機設備（8-12反應腔），該設備均為可提供8-12寸晶圓制造的濕法工藝設備。

目前中國市場和國際市場范圍內，主要的濕法設備廠商以日本和歐美為主，國內目前有至純科技、北方華創和盛美在濕法工藝設備端提供中高階濕法制程設備，分別是，但占比合計不到10%。所以濕法工藝設備的國產化替代潛力很大。

進過三年的研發之后，目前至純科技的單片濕法清洗設備在晶圓表面顆粒清洗能力以及每小時的產出量上，機臺性能和工藝將可以支持到14nm以下的工藝技術節點。近期互動平臺上，公司直言，槽式濕法設備在質量上與國際水平相當乃至優于國際水平。

2018年至純科技開始開拓半導體業務業務，近兩三年的發展已逐漸壯大。2018年公司濕法工藝裝備的新增業務訂單總額為人民幣1.1億元，而到了2019年達到約人民幣1.7億，該部分訂單將于2020年及之后獲得收入。

截至去年底，已經取得近40臺正式訂單，已經完成近20臺設備裝機，包含濕法刻蝕、清洗、金屬剝離、晶圓回收等多個工藝。其中2018年和2019年公司對中芯集成的銷售額分別為1714.4萬元、4311.88萬元（2019年公司合計獲得半導體設備收入8166.24萬元）。

半導體聯盟消息，2020年6月22日，根據至純科技披露的資料顯示，2020年3月起至今，至純科技旗下至微科技以每月2-3臺8寸及12寸濕法工藝設備交付給客戶，交付客戶包括華潤微、楚微，中車，燕東，臺灣力積電等。證明公司濕法工藝設備交付速度明顯加快。

截至2019年末，至純科技主要在建項目有江蘇啟微高純工藝專業生產設備項目、松江區中山街道工業園ZS-13-004號地塊工程(波匯科技松江總部及研發中心項目)、半導體濕法設備制造項目、晶圓再生項目，總投資分別為5億元、4.5億元、1.8億元、2.1億元，其中江蘇啟微高純工藝專業生產設備項目設計總產能包括清洗刻蝕設備40臺、特氣柜500臺等，半導體濕法設備制造項目設計總產能將新增半導體濕法清洗設備30臺、單片式半導體濕法清洗設備10臺，建成之后公司的產能將得以大幅增加。

新增訂單大幅增長

此前高純工藝集成系統一直是至純科技主要營收，高純工藝系統下游產業也包括半導體行業、光伏產業和醫藥及食品飲料類等。目前公司高純工藝系統已經切入一線用戶，有中芯國際、華虹、華潤、士蘭微、長江存儲、長鑫存儲、海力士，三星，臺積電，力晶等等。半導體領域產品客戶相同，所以公司半導體濕法清洗設備開拓較為順利。

2017年至純科技上市后就開始了資本運作，先收購琺成制藥（2019年接近完成了對琺成制藥100%的股權收購），2019年4月，再以現金6.8億元收購匯波科技100%股權，完成了搭建“半導體+生物制藥+光電子”三個板塊布局。

至此公司業務暴增，2017-2019年至純科技新增業務訂單總金額達6.7億元、9.1億元、14.2億，新增訂單額比上一年度增長約100%、35.82%、56%。去年公司整體實現營業收入和凈利潤分別為9.86億元、1.10億元，較上年同期分別增加46.34%、239.88%。

但半導體始終是公司的重要業務，高純工藝系統、濕法設備及晶圓再生服務、電子材料及部件均服務于半導體板塊，服務于同一批客戶。2018-2020年前3月公司半導體營收4.29億元、3.76億元、0.18億元，毛利率分別為24.74%、30.02%、51.27%，毛利率已大幅增長。

今年4月30日，至純科技發布股票發行預案，擬募資不超過（含）人民幣14.9億元，其中北京集成電路基金、中芯涌久、津聯海河、國改基金合計投資金額達到9.7億元，四家基金均為國資專門推動半導體等行業國產化而設立的股權投資基金，已投資國內多家半導體企業。

預案公告中，至純科技稱引入上述機構戰投將為公司對接高純工藝系統及半導體濕法清洗裝備業務下游客戶資源，助力公司獲取半導體行業的戰略合作機會和業務訂單，以促進公司的國產供應鏈替代的加速實現。