繼1月2日，中微中標長江存儲9臺刻蝕設備訂單后，武漢精測電子集團股份有限公司（以下簡稱“精測電子”）也迎中標訂單。

據中國國際招標網消息，1月17日，精測電子控股子公司上海精測半導體技術有限公司（簡稱“上海精測”）中標長江存儲的3臺集成式膜厚光學關鍵尺寸量測儀。

資料顯示，上海精測成立于2018年7月，主要從事以半導體測試設備為主的研發、生產和銷售，同時也開發一部分顯示和新能源領域的檢測設備。公司以橢圓偏振技術為核心，在1年多時間內開發了膜厚測量以及光學關鍵尺寸測量系統，包括集成式膜厚測量機EFILM 300IM、集成單/雙模塊膜厚測量機EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD測量機EPROFILE 300FD等產品型號。

當前，上海精測已獲國家大基金入股。天眼查公開信息顯示，2019年12月，上海精測已完成股權變更，新增了國家大基金、上海半導體等7個股東，注冊資本也有此前的1億元增加至6.5億元，其中國家大基金一期注資1億，對上海精測半導體持股4%，為并列第二大股東。

近日，上海精測實現3臺來自長江存儲的集成式膜厚光學關鍵尺寸量測儀訂單，表明上海精測已具備晶圓制造環節的膜厚量測設備重復、批量供應能力。

事實上，近年來，國產量測設備廠商已經陸續獲得長江存儲訂單，例如上海睿勵2017年底拿到長江存儲2臺膜厚設備訂單；中科飛測也拿到了長江存儲等大廠的訂單；上海精測中標3臺膜厚量測設備。

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