近期大基金再現活躍身影，繼入股精測電子子公司、參與興森科技新建項目后，日前再次出手投資，這次瞄準的是集成電路領域真空干泵設備。

中科儀與大基金等達成投資意向

10月14日，新三板企業中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）發布公告，中科儀與國家集成電路產業投資基金股份有限公司（以下簡稱“大基金”）、宿遷渾璞五期集成電路產業基金（有限合伙）（以下簡稱“渾璞投資”）和國科科儀控股有限公司（以下簡稱“國科科儀”）達成戰略投資意向，擬于近期簽訂戰略投資協議。

根據協議，大基金、渾璞投資和國科科儀就中科儀真空干泵產業化升級等戰略投資事宜達成意向，投資金額分別為不超過人民幣1.4億元、7000萬元、5000萬元，投資方式包括但不限于受讓老股、認購新股等。具體的投資安排以未來簽署的股份認購協議或與公司股東簽署的股權轉讓協議為準。

大基金相信大家均已非常熟悉，其作為國家級戰略性投資基金，首要目的是落實《國家集成電路產業發展推進綱要》，完成國家支持集成電路產業發展這一戰略性任務。大基金首期基金已投資完畢，前不久大基透露二期基金的投資布局重點在集成電路裝備材料領域，9月初大基金才入股了精測電子旗下專注于半導體測試設備的子公司。

至于另外兩家投資者，渾璞投資成立于2019年9月，其私募基金管理人霍爾果斯渾璞股權投資管理有限公司專注于半導體產業鏈投資，目前已經投資沈陽拓荊等3家集成電路裝備企業；國科科儀是中科儀控股股東中國科學院控股有限公司全資子公司，致力于科學儀器設備及核心零部件領域科技創新和產業化發展。

中科儀公告提示稱，本次簽訂的《戰略投資合作框架協議》僅為框架性協議，合作形式、股 權合作方及交易價格等均未確定，本次交易正式條款將以最終簽署的交易文件為準，能否達成存在較大不確定性。

助力真空干泵產業化升級

資料顯示，中科儀是一家專業從事真空儀器裝備、真空獲得設備研制生產并服務于集成電路產業及科研領域的高新技術企業，其前身中國科學院沈陽科學儀器研制中心創建于1958年。其控股股東、實際控制人及其一致行動人中國科學院控股有限公司是經國務院批準設立的首家中央級事業單位經營性國有資產管理公司。

中科儀在公告中指出，其獲得國家重大專項支持的真空干泵已經在中芯國際、長江存儲、華力微電、北方華創等集成電路企業產業化推廣，打破了一直以來由國外廠家壟斷的局面。據悉，目前中科儀是國內唯一一家在集成電路領域替代進口的真空干泵生產制造企業。

據介紹，在集成電路生產線種類眾多的整機裝備中，70%左右都需要在真空的工藝環境生產組裝。真空干泵及真空閥門是關鍵的潔凈真空子系統，其作用是獲得、維持與控制集成電路裝備整機潔凈真空運行環境，在生產線中應用普遍、市場需求巨大。

今年8月，中科儀發布股票發行預案，擬非公開定向發行股票，預計募集資金不超過3億元，要用于補充流動資金、新一代高效節能真空干泵研發、建立干泵產業化基地、技術服務和維修中心建設。

中科儀未在公告中提及此次即將簽訂的戰略投資協議是否與上述募資事項有關，其表示本協議對公司的業務獨立性不構成影響，公司主要業務不存在因履行本協議而對合作方形成依賴的可能性。

但無論如何，大基金、渾璞投資等戰略投資者的關注及加入，將有望助力中科儀真空干泵進一步產業化，加速國產真空干泵發展升級。