9月5日消息,據國外媒體報道,三星電子開始在半導體生產線上試用韓國企業加工的氟化氫。

知情人士稱,自8月下旬起,三星電子開始在一條生產線上使用韓國企業供應的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。

此次投入量產線的是從中國進口、由韓國企業加工的氟化氫。

在高純度的氟化氫市場,日本廠商大約占據8至9成份額。三星電子對于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹慎態度。

今年7月,就有外媒報道三星電子在半導體工廠試驗新材料的生產線上,開始投入日本以外廠商的氟化氫進行試驗,這些產品被認為來自中國大陸、中國臺灣和韓國廠商。

上月,外媒還報道,三星電子正在從總部位于比利時的公司采購用于制造半導體芯片的化學材料,以替代日本廠商。外媒未披露公司名稱,但有分析認為,該公司應該是日本化學企業JSR和比利時研究機構IMEC2016年設立的合資公司EUV Resist。