2018年7月26日,山東有研《集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)》正式簽約;
2019年3月19日,舉行開工儀式,開始樁基施工;
2019年6月,啟動主體施工;
2019年12月18日,主體結(jié)構(gòu)封頂;
今年7月份,130余臺套工藝設(shè)備陸續(xù)進場,部分生產(chǎn)線已進入試運行階段。
半導(dǎo)體聯(lián)盟消息,2020年8月份,半導(dǎo)體級八英寸硅單晶一次性拉制成功……
一環(huán)接一環(huán),環(huán)環(huán)相扣,一絲不茍,有條不紊。
這樣的進度,這樣的順利,讓這一省級重大項目的負責(zé)人感到欣慰。近日,大眾網(wǎng)·海報新聞記者走進山東有研半導(dǎo)體材料有限公司,在直拉硅單晶生產(chǎn)車間,看到了“新鮮出爐”的硅單晶,這標志著項目的建設(shè)進入了一個新的階段,也標志著項目在德州廠房的建設(shè)達到了一個非常好的水準。
項目的順利體現(xiàn)在節(jié)點的提前,八英寸集成電路用八英寸直拉硅單晶在德州拉制成功,不但收獲了預(yù)期的效果,而且提前完成了預(yù)期進度。
項目的順利還體現(xiàn)在一次性拉形成功,這是很難得的。“單晶生長的工藝非常復(fù)雜,一根單晶的全部生長周期通常需要三天左右,對外部水、電和氬氣等動力條件的供應(yīng)穩(wěn)定性甚至地面震動幅度的要求都很苛刻,母公司有研半導(dǎo)體在北京的工廠以前進行單晶生長時會出現(xiàn)液面不穩(wěn)定而造成單晶斷棱出現(xiàn)位錯的情況,而這次在德州的新工廠單晶是一次性拉制成功。”公司副總經(jīng)理劉斌介紹說,確實可喜可賀。
這樣的成績,來源于有研半導(dǎo)體材料有限公司強大的根基,公司作為中央直屬企業(yè)有研集團的成員單位,是半導(dǎo)體材料行業(yè)的名副其實的“國家隊”。自2001年成立以來,在國內(nèi)最早開發(fā)出8英寸和12英寸硅片并實現(xiàn)商業(yè)化,已發(fā)展成為我國半導(dǎo)體硅材料領(lǐng)域的龍頭企業(yè)。
這樣的成績,同樣離不開項目所在地的“沃土”。談起當(dāng)?shù)刂С郑綎|有研半導(dǎo)體材料有限公司副總經(jīng)理常青有說不完的話題,感動于德州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)行政審批局,把所有審批項目代辦、組合辦,少跑了腿,多辦了事;感動于供水供電部門,派專人盯在項目現(xiàn)場,及時解決用水用電問題;感動于經(jīng)開區(qū)管委會,為北京搬遷過來的70余人的團隊解決了就餐、住宿難題……
當(dāng)然,項目在建設(shè)過程中,也遇到了始料未及的阻礙。今年以來,新冠疫情影響給項目建設(shè)帶來了巨大的挑戰(zhàn)。不僅僅有人員防疫的問題,還有原材料問題。德州工廠所需要生產(chǎn)物料,很大一部分都是從到日本、韓國、美國、馬來西亞、臺灣等國家和地區(qū)購入,得益于公司領(lǐng)導(dǎo)層的“先行一步”,項目遇到的問題始終沒有“趕上”項目的進度。
疫情一發(fā)生,公司立即開會討論給所有的供應(yīng)商追加訂單。“到三月份的時候,國外疫情發(fā)生變化,我們考慮到運輸、漲價等因素,又及時訂購了一批物資,如果工廠停的話影響很大,恢復(fù)需要時間,對客戶也有影響,所以今年我們是平穩(wěn)過渡。”劉斌說,疫情期間,所有事情的節(jié)奏把握得恰到好處,正是由于提前對策和計劃,德州工廠的生產(chǎn)建設(shè)從去年到現(xiàn)在一直沒有中斷過。
當(dāng)前,5G投資如火如荼,大數(shù)據(jù)、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)方興未艾,大尺寸硅材料受人工智能、大數(shù)據(jù)等新興產(chǎn)業(yè)的帶動,市場迎來快速增長,這對德州工廠也提出了迫切的需求。
據(jù)常青介紹,硅片為適應(yīng)芯片制程的進步正朝大尺寸方向發(fā)展,硅片尺寸越大,單位芯片制造的成本越低,邊角浪費的硅片越少,12英寸硅片成為主流。而項目的二期工程12英寸硅片規(guī)模化生產(chǎn)項目也在積極籌備,計劃明年開工建設(shè)。
根據(jù)調(diào)查,有研當(dāng)期項目投資18億元,總建筑面積約10萬平方米,新建單晶廠房1棟、硅片加工廠房1棟、綜合動力站1棟及倉庫、氣站等;形成年產(chǎn)276萬片8英寸硅片、180萬片6英寸硅片以及300噸12-18英寸硅單晶的生產(chǎn)能力。項目建成投產(chǎn)后,可實現(xiàn)年銷售收入10億元、利稅2億元,將成為北方最大的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地,而該項目作為德州東部城區(qū)創(chuàng)新組團的龍頭項目,瞄準我國重大戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)短板,填補省內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域空白,對德州市乃至山東省發(fā)展新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè),打造戰(zhàn)略性新興特色產(chǎn)業(yè)集群意義重大。