10月24日, 2019年下半年德州市協同發展督查評議到德州經濟技術開發區,實地察看了有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目。
據一期項目土建負責人介紹,項目一期3個主要車間正在進行二層主體施工和機電預留預埋,目前三個主廠房都有30%到40%的二層已經封頂。此外,專用變電站、尚德八路等工程均按計劃推進。項目計劃2019年底主體封頂,2020年3月底完成機電安裝和動力設施調試,2020年6月底完成工藝設備調試并試產。
有研集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目由有研科技集團、日本RST株式會社控股的有研半導體材料有限公司出資,山東有研半導體材料有限公司建設。有研科技集團是國資委管理的96家央企之一和國內有色金屬行業規模最大的綜合性研究開發機構,在國內唯一掌握18英寸硅單晶技術、12英寸硅片技術,率先實現8英寸硅片商業化,12—18英寸硅單晶產品可滿足全球最先進的半導體設備應用要求。
項目總投資約80億元,分兩期建設,德州政府網指出,項目一期占地326畝,建設直拉車間廠房、硅片廠房、動力中心等,搬遷北京現有的6英寸、8英寸硅晶圓、8英寸單晶硅生產線并擴大產能,形成年產8英寸硅片276萬片、6英寸硅片180萬片、12—18英寸大直徑硅單晶300噸的生產能力。二期項目建設12英寸硅晶圓中試線科研成果產業化基地,年產360萬片12英寸硅片。
據悉,有研半導體項目是德州東部城區創新組團的龍頭項目,已被山東省政府列為2019年省級重點“頭號”項目。據齊魯網報道,目前該項目規模也是目前北方最大的半導體材料基地。