8月21日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導體”）發布公告稱，擬對睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）進行投資，金額為1375萬元，投資完成后中微半導體持股上海睿勵股權比例約為10.41%。

資料顯示，上海睿勵是國內集成電路工藝檢測設備供應商，目前擁有的主要產品包括光學檢測設備、硅片厚度及翹曲測量設備及子公司宏觀缺陷檢測設備等。其自主研發的12英寸光學測量設備TFX3000系列產品，已應用在28納米芯片生產線并在進行14納米工藝驗證，在3D存儲芯片上達到64層的檢測能力。

目前，上海睿勵的產品已成功進入世界領先芯片客戶3D閃存芯片生產線，并取得7臺次重復訂單，是目前進入該國際領先芯片生產企業唯一的國產集成電路設備產品。

此前，通過投資國內薄膜設備公司沈陽拓荊科技有限公司，中微半導體在集成電路薄膜設備領域進行了布局，中微半導體指出，此次投資上海睿勵，是公司聚焦并落實高端芯片設備戰略的又一步驟，將進一步形成產業鏈協同效應。

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