日前,一根長1.5米、重達270公斤的12英寸半導體級硅單晶棒經過超高溫作業后在這里出爐,成為浙江省首根擁有完全自主知識產權的量產型集成電路用12英寸單晶硅棒。
單晶硅棒是支撐集成電路產業的基礎功能材料,對工藝、材料和設備都有極高要求。單晶硅棒經切割、研磨、清洗、拋光以及外延等20多道工序制備而成的硅拋光片或硅外延片,就是芯片的“地基”。“硅片直徑越大,對材料和技術的要求就越高,制造難度也越大。”金瑞泓微電子(衢州)有限公司董事長王敏文介紹,長期以來,全球5家硅片企業占據了整個12英寸半導體級硅片市場97%以上的份額。到目前為止,我國集成電路用12英寸硅片正片幾乎全部依賴進口。
“金瑞泓微電子(衢州)有限公司在硅片產業化的拉晶環節取得重大技術突破,補上了我國集成電路產業鏈缺失的重要一環,也能有效推動衢州市加快成為國內領先的集成電路材料產業基地。”衢州市經信局相關負責人認為,12英寸單晶硅棒的成功出爐,為下一步12英寸硅片的產業化奠定了堅實的基礎,對完善我國集成電路產業鏈具有積極意義。
去年,投資34.6億元、年產180萬片集成電路用12英寸硅片項目落戶衢州綠色產業集聚區,項目達產后,預計可實現年銷售收入逾15億元。
目前,金瑞泓微電子(衢州)有限公司正在進一步拓寬半導體技術領域,開發高技術、高附加值的新一代半導體材料,重點發展汽車電子用芯片、電源管理IC芯片、集成電路用大硅片,努力實現12英寸集成電路用單晶硅片正片國產化“零突破”,填補該領域的國內空白。